AFM-IN工业原子力显微镜,集成电路晶圆等超大样品检测
AFM-IN工业原子力显微镜,集成电路晶圆等超大样品检测
  • 
AFM-IN工业原子力显微镜,集成电路晶圆等超大样品检测
  • 
AFM-IN工业原子力显微镜,集成电路晶圆等超大样品检测

AFM-IN工业原子力显微镜,集成电路晶圆等超大样品检测

AFM-IN工业型原子力显微镜系国内首先实现样品保持不动,探针移动扫描的原子力显微镜,采用闭环三轴独立压电平移式扫描器,大范围高精确度扫描,适合样品尺寸、重量基本不受限制,特别适合集成电路晶圆等超大样品检测。

产品介绍

AFM-IN工业型原子力显微镜产品特点:

  • 国内首先实现样品保持不动,探针移动扫描的原子力显微镜;
  • 国内首先采用闭环三轴独立压电平移式扫描器,大范围高精确度扫描;
  • 样品尺寸、重量基本不受限制,特别适合集成电路晶圆等超大样品检测;
  • 龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附式载物台;
  • 大行程二维电动样品移动台,快速选择感兴趣的样品区域;
  • 高倍光学定位系统,实现探针和样品扫描区域精确定位;
  • 简易的激光光斑调节方式,可通过光学CCD窗口实时观测及调节光斑;
  • 单轴驱动扫描头自动垂直接近样品,准确定位扫描区域,针尖垂直于样品扫描;
  • 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品;
  • 配备封闭式金属屏蔽罩,气动式减震台,抗干扰能力强,不影响仪器使用操作;
  • 集成扫描器硬件非线性校正用户编辑器,纳米表征和测量精度优于98%。

应用范围

AFM-IN工业原子力显微镜

技术规格

基本工作模式接触、轻敲、F-Z力曲线测量、RMS-Z曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力
选配工作模式Profile线快速测量模式
最大样品尺寸Φ≥300mm,H≥50mm
闭环扫描范围XY向100um,Z向10um
闭环扫描分辨率XY向0.2nm,Z向0.05nm
样品移动范围300mm×300mm
辅助光学定位10X物镜,光学分辨率1um(可选配20X,光学分辨率0.8um)
气动式减震台减震频率0.5Hz
噪音水平<0.1nm
扫描速率及角度扫描速率0.6Hz~4.34Hz,扫描角度0~360°
扫描控制XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
数据采样14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
反馈方式DSP数字反馈
反馈采样速率64.0KHz
通信接口USB2.0/3.0
运行环境WindowsXP/7/8/10操作系统