AFM-IN工业原子力显微镜,集成电路晶圆等超大样品检测

AFM-IN工业型原子力显微镜产品特点：

• 国内首先实现样品保持不动，探针移动扫描的原子力显微镜；
• 国内首先采用闭环三轴独立压电平移式扫描器，大范围高精确度扫描；
• 样品尺寸、重量基本不受限制，特别适合集成电路晶圆等超大样品检测；
• 龙门架式扫描头设计，大理石底座，真空吸附式载物台；
• 大行程二维电动样品移动台，快速选择感兴趣的样品区域；
• 高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位；
• 简易的激光光斑调节方式，可通过光学CCD窗口实时观测及调节光斑；
• 单轴驱动扫描头自动垂直接近样品，准确定位扫描区域，针尖垂直于样品扫描；
• 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品；
• 配备封闭式金属屏蔽罩，气动式减震台，抗干扰能力强，不影响仪器使用操作；
• 集成扫描器硬件非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%。

应用范围