扫描探针显微镜对MgO膜的横截面观察

2018-01-15

扫描探针显微镜 Scanning Probe Microscope:SPM

原理

SPM是以扫描探针和样品表面的相互作用的原子力显微镜(AFM)的技术为基础,在样品表面形成三维形状,在纳米尺度上评价各种物性分布的装置/分析方法的总称。例如高分子材料,我们能观察到它的粘度,黏着性,弹性模量的分布。固定在液体中的生物样品也能够观察到。在半导体材料中,能观察到因载流子浓度发生的电容量变化,扩展电阻,静电力,表面电位,磁力,隧穿电流的分布。

SPM的装置概要图

扫描探针显微镜

Sectional SEM image of MgO film

Sectional SEM image of MgO film

AFM image :1.0μm square

AFM image :1.0μm square

MgO膜是由直径在100nm左右的柱状晶体所形成的,这种柱状晶体中存在很多空隙的部分可以通过TEM、AFM两方测定结果进行确认。而且,与基板相比表层上微晶很大。还能由三角形的表层粒子形状(AFM图像)和电子束衍射图像获悉膜的(111)取向。

页面地址: https://www.instrubuy.com/1199-sectional-sem-image-of-mgo-film.html