- 光机电一体化设计，外形结构简单；
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扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；
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精密激光及探针定位装置，更换探针及调节光斑简单方便；
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采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；
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马达自动脉冲控制驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；
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高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；
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高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；
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采用10X复消色差物镜CCD光学定位系统，实时观测与定位探针样品扫描区域；
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模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；
-
集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。主要技术指标
- 光机电一体化设计，外形结构简单；
- 扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；
- 精密激光及探针定位装置，更换探针及调节光斑简单方便；
- 采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；
- 马达自动脉冲控制驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；
- 高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；
- 高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；
- 采用10X复消色差物镜CCD光学定位系统，实时观测与定位探针样品扫描区域；
- 模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；
- 集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。主要技术指标