- 光机电一体化设计,外形结构简单;
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扫描探头和样品台集成一体,抗干扰能力强;
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精密激光及探针定位装置,更换探针及调节光斑简单方便;
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采用样品趋近探针方式,使针尖垂直于样品扫描;
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马达自动脉冲控制驱动样品垂直接近探针,实现扫描区域精确定位;
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高精度大范围的样品移动装置,可自由移动感兴趣的样品扫描区域;
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高精度大范围的压电陶瓷扫描器,根据不同精度和扫描范围要求选择;
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采用10X复消色差物镜CCD光学定位系统,实时观测与定位探针样品扫描区域;
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模块化的电子控制系统设计,便于电路的持续改进与维护;
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集成多种扫描工作模式控制电路,配合软件系统使用。主要技术指标
- 光机电一体化设计,外形结构简单;
- 扫描探头和样品台集成一体,抗干扰能力强;
- 精密激光及探针定位装置,更换探针及调节光斑简单方便;
- 采用样品趋近探针方式,使针尖垂直于样品扫描;
- 马达自动脉冲控制驱动样品垂直接近探针,实现扫描区域精确定位;
- 高精度大范围的样品移动装置,可自由移动感兴趣的样品扫描区域;
- 高精度大范围的压电陶瓷扫描器,根据不同精度和扫描范围要求选择;
- 采用10X复消色差物镜CCD光学定位系统,实时观测与定位探针样品扫描区域;
- 模块化的电子控制系统设计,便于电路的持续改进与维护;
- 集成多种扫描工作模式控制电路,配合软件系统使用。主要技术指标